Formfactor EPS150T探针台先容
一、仪器照片
二、基本信息
品牌：Formfactor
型号：EPS150T
仪器类型：高精度自动化探针台
应用领域：普遍适用于半导体器件、微电子元件、新质料的电学性能测试，，，，，涵盖晶圆级测试、芯片失效剖析、传感器性能验证、MEMS器件表征等场景，，，，，适配研发实验室、半导体制造工厂及第三方检测机构的测试需求。。。。。。
三、主要特点
1. 载物台性能优异：焦点Chuck Stage载物台接纳高精度传动与闭环伺服控制，，，，，X/Y轴155mm×155mm大行程设计，，，，，可轻松承载≤150mm晶圆等大尺寸样品，，，，，无需频仍调解即可完玉成区域测试，，，，，兼顾测试广度与效率；；；； ；；；配备真空吸附功效，，，，，能牢靠牢靠种种样品，，，，，包管测试历程中样品无位移。。。。。。
2. 测试适配性强：支持4~8个自力探针臂选配，，，，，可适配直流、射频、高温等差别类型探针，，，，，能实现多通道并行测试，，，，，知足电压、电流、电阻等多种电学参数丈量需求。。。。。。
3. 操作便捷高效：兼容专用自动化测试软件，，，，，可实现样品加载、定位、测试及数据纪录的全流程自动化，，，，，同时支持电动驱动与手动微调，，，，，搭配高倍率光学视察系统，，，，，辅助精准对位，，，，，降低操作难度。。。。。。
4. 情形顺应性好：可选配温控？？？？？？椤⒎莱痉勒裢饪羌岸栊云灞；；；； ；；；げ眨，，能适配崎岖温极端情形测试及敏感样品测试，，，，，包管测试情形稳固性与数据可靠性。。。。。。
四、手艺参数
1. 载物台参数：X/Y轴最大行程155mm×155mm；；；； ；；；定位精度±1μm；；；； ；；；重复定位精度≤0.5μm；；；； ；；；台面平面度≤5μm/100mm。。。。。。
2. 其他要害参数：探针臂数目可配4~8个；；；； ；；；移动速率调理规模0.1mm/s~50mm/s；；；； ；；；可选温控规模-60℃~200℃。。。。。。
